-
全口徑智能環(huán)拋機
提供各種規(guī)格環(huán)形拋光機，具備轉(zhuǎn)速、偏心距、校正盤卸荷等全工藝參數(shù)自動監(jiān)測和控制功能，用于高精度和超高精度平面鏡的加工。
-
雙擺研磨拋光機
用于高精度薄片型光學(xué)元件加工。
-
分體式四軸研磨拋光機
提供多種規(guī)格拋光研磨盤，可用于各種光學(xué)玻璃、石英、晶體等脆性材料的平面、球面的研磨和拋光
-
機器人研拋一體機
基于工業(yè)機器人的小工具加工機床，利用小工具在元件表面高速旋動，實現(xiàn)對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
-
臺式機器人研拋一體機
基于工業(yè)機器人的小工具加工機床，利用小工具在元件表面高速旋動，實現(xiàn)對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
-
離子束拋光機
離子束拋光機是高束流密度、較小的束散角和較大束流均勻度的高能離子束轟擊光學(xué)元件表面，實現(xiàn)光學(xué)元件高精度加工的拋光設(shè)備。高能離子的產(chǎn)生是基于高純度惰性氣體，經(jīng)過中空陰極，在電源模塊放電作用下產(chǎn)生電離，并將電子束流注入腔體內(nèi)，電子束流經(jīng)過電子均勻板將束流均勻分散進入到陽極區(qū)域內(nèi)，電子在陽極的電場和磁場的作用下電力，并在柵網(wǎng)的電場作用下引出離子束流，通過系統(tǒng)控制，實現(xiàn)均勻、穩(wěn)定的光學(xué)元件表面去除。
-
4吋激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測
-
大口徑波長移相激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測